高真空度抽不上但不漏氣（指真空計長時間數(shù)值不動）

2.擴散泵油老化

1.更換真空規(guī)管

2.更換擴散泵油

低真空抽不上但不漏氣（指真空表長時間數(shù)值不動）

2.機械泵油老化

2.更換機械泵油

使用一段時間后溫度升不上去

加熱器電阻值變大。

1.根據(jù)儀表說明書調大儀表輸出功率。

2.嚴重老化只能更換新的加熱器

控制柜面板上的過流指示燈亮著并報警

加熱器有短路

打開爐蓋觀察加熱器是否有短路，排除故障。

超溫報警燈亮著并報警

2.儀表設定有誤

按說明書重設超溫報警參數(shù)

斷水指示燈亮著并報警

1.沒打開水閥

2.水壓過低

1.打開水閥

2.調高水壓